精加工放電間隙一般只有0.01mm（單面），而粗加工時則可達0.5mm以上。目前，電火花加工的精度為0.01~0.05mm。電火花加工時，可以通過修正彎鉤機電極的尺寸對放電間隙進行補償，以獲得較高的加工精度。然而，放電間隙的大小實際上是變化的，影響著加工精度。電火花加工表面的粗糙度取決于放電蝕坑的深度及其分布的均勻程度。